產品名稱

桌面型電動升降樣品臺蒸發鍍膜儀

產品型號

CY-EVP195S-1S-LT（T高罐體tall；L升降 lift）

安裝條件

1、使用環境溫度 25℃±15℃，濕度 55%Rh±10%Rh；

2、設備供電：AC220V，50Hz，必須有良好接地；

3、額定功率：1200w；

4、設備用氣：設備腔室內需充注氬氣清洗，需客戶自備氬氣，純

度 ≥99.99%；

5、擺放工作臺尺寸要求 600mm×600mm×700mm，承重 70kg 以上；

6、擺放位置要求通風。

技術參數

1、 蒸發源數量：1個，配擋板；

2、 蒸發源電壓：10V

3、 蒸發電流 0～100A 連續可調

4、 配 1個鎢舟、1個鎢絲籃；

5、 不銹鋼電動升降樣品臺,直徑為70mm，旋轉速度1~20rpm連續可調；

6、 樣品與蒸發源的距離為 190~300mm連續可調，真空狀態下也可升降調節 ；

7、 真空腔體為不銹鋼腔體其外徑為195mm，內徑為185mm，高度為350mm；

8、 上蓋采用ISO法蘭密封，便于拆卸檢查；腔體設有前開門，并配有φ60mm的帶擋板石英觀察窗；

9、 真空腔體抽氣接口為 KF40；

10、 進氣接口為 1/4 英寸雙卡套接頭，默認配不銹鋼微調閥以調節進氣量；

11、 顯示屏為7英寸彩色觸摸屏；

12、 可調節蒸發電流，可設置蒸發**電流值、**真空值；

13、 **保護：過流、真空過低自動切斷蒸發電流；

14、 極限真空：5x10-5Pa(搭配分子泵)；

15、 真空測量為電阻規真空計，其量程為：1～10⁵Pa

注意事項

1、為充分發揮腔體的真空性能，建議搭配分子泵組使用。

可選配件

厚監測儀

1、膜厚分辨率：0.0136?（鋁）

2、膜厚準確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置， 材料應力，溫度和密度

3、測量速度：100ms-1s/次，可設置測量范圍：500000?（鋁）

4、標準傳感器晶體：6MHz

5、適用晶片頻率：6MHz 適用晶片尺寸：Φ14mm 安裝法蘭：CF35

其他配件

1、 鎢舟、鎢絲籃；

2、 有機蒸發源（含石英舟和鎢絲發熱源）；

3、 蒸發源數量可選1~2組；

4、 CY-CZK103系列高性能分子泵組（含復合真空計，測量范圍

10^-5Pa~10⁵Pa）；

CY-GZK60系列小型分子泵組（含復合真空計，測量范圍10^-5Pa~10²Pa）

VRD-4雙極旋片真空泵；

5、 CW3000循環水冷機（風冷，流量10L/min）

6、 KF40真空波紋管；長度可選0.5m、1m、1.5m；KF25卡箍支架

7、 膜厚儀晶振片；